De floeibere nitrogen koelingssystemen wurde breed brûkt yn 'e Semiconductor & Chip-yndustry, ynklusyf it proses fan,
- De technology fan Molekulêre beam Epitaxy (MBE)
- De test fan 'e chip nei COB-pakket
Besibbe produkten
Vacuum isoleare pipe-searje
Vacuum isoleare fleksibele slang-searjes
Dynamysk fakuümpompsysteem
Vacuum isoleare faze separator-searje
Vacuum isoleare fentyl searje
Piping systeemstipe-apparatuer
Molekulêre beam Epitaxy
De technology fan Molekulêre BEAM EPITAXY (MBE) waard yn 'e fyftiger jierren ûntwikkele om semiconductor tinne filmmateriaal te tarieden mei fakuümwapingtechnology. Mei de ûntwikkeling fan ultra-hege fakuümtechnology is de tapassing fan technology útwreide nei it fjild fan semysjûnwittenskip.
Hl hat de fraach fan MBE-floeibere stikressysteem opmurken, organiseare technyske rêch om in spesjale MTE-floeibere nitology te ûntwikkeljen en in folsleine set fakulearingssysteem, dy't brûkt wurdt yn in protte bedriuwen, universiteiten en ûndersyksynstituten .
De mienskiplike problemen fan 'e Semiconductor & Chip Industry omfetsje,
- De druk fan floeibere stikstof yn terminal (MBE) apparatuer. Foarkom dat druk Overload fan skealike terminal (MBE) apparatuer.
- Meardere kryogenyske floeistof ynlaat en outlet kontroleart
- De temperatuer fan floeibere stikstof yn terminalapparatuer
- In ridlike hoemannichte kryogenyske gasútstjit
- (Automatysk) Wikselje fan Main- en Branch Lines
- Druk oanpassing (fermindering) en stabiliteit fan VIP
- Skjinmeitsje de mooglike ûnreinheden en iisresidu fuort fan tank
- Ynfoljen fan 'e terminal floeibere apparatuer
- Pipelineceolking
- Floeibere wjerstân yn vip-systeem
- Kontrôle ferlies fan floeibere stikstof by diskontinuze tsjinst fan it systeem
HL's fakuüms isoleare piip (VIP) is boud oan Asme B31.3 Drukpippoade as standert. Engineering-ûnderfining en kwaliteitskontrôle fermogen om de effisjinsje en kosten-effektiviteit fan 'e plant fan' e klant te garandearjen.
Oplossys
HL Cryogenic-apparatuer biedt klanten mei it fakuümsoersfolle pipingsysteem om te foldwaan oan 'e easken en betingsten fan' e Semiconductor & Chip Industry:
1.quality management System: Asme B31.3 Drukpippoade.
2.a Special Phase-seilator mei meardere kryogenyske floeistof en outlet mei automatyske kontrôle-funksje foldocht oan 'e eask fan gasmoppen, recycled floeibere stikstof en temperatuer fan floeibere stikstof.
3.Atueel en yntiids útstjitûntwerp soarget derfoar dat terminalapparatuer altyd binnen de ûntwurpende drukwearde wurket.
4. It gas-floeibere barriêre wurdt pleatst yn 'e fertikale VI-piip oan' e ein fan VI-pipeline. Gasbloeken-barriêre brûkt it gasdichtprinsipe om de hjittens fan 'e ein fan' e FI-pipeline yn 'e FI-pipen te blokkearjen, en ferminderje it ferlies fan floeibere stikstof tidens diskontuvere en yntermitterende tsjinst fan it systeem.
5..VI Piping Controlled troch de VIFuum Insulated Valve (Viv) Serie (Pneumatic) Ofslacht Valve, fakulearen isolearre reguele Valve Etc.. Ferskate soarten viv kin wêze om de vip te kontrolearjen fereaske. Viv is yntegreare mei VIP Prefabrication yn fabrikant, sûnder isolearre behanneling op it plak. De segelheid fan viv kin maklik wurde ferfongen. (HL aksepteart it kryogene fentyl-merk oanwiisd troch klanten, en makket dan fakuüms binne isolearre kleppen troch HL. Guon merken en modellen fan kleppen kinne net wurde makke yn fakuüms isoleare kleppen.)
6.Cleeginess, as d'r ekstra easken binne foar it skjinmeitsjen fan binnengrûn oerflak. It wurdt suggerearre dat klanten ba of ep-roestiftige stielen pippen kieze as vip binnenste pipen om de rangfrij stiel-spillage fierder te ferminderjen.
7.Vacuum isoleare filter: skjin de mooglike ûnreinheden en iisresidu fuort fan tank.
8.Amter in pear dagen as ûnderhâld of ûnderhâld, is it heul needsaaklik om de vi-piping en terminal-apparatuer te presintearjen foardat se iis slag is ynfierd, nimt se direkt de vi-piping en terminalapparatuer yn Precooling-funksje moat wurde beskôge yn ûntwerp. It leveret bettere beskerming foar terminalapparatuer en vi piping stipe-apparatuer lykas kleppen.
9.Suit foar sawol dynamysk as statyske fakuüm isoleare (fleksibel) pipingsysteem.
10.Dynamysk vacuims isoleare (fleksibel) Piping-systeem: bestiet út VI-fleksibele slangen en faze-pipe, fakuümsysjes en dynamikompesysteem (ynklusyf de fakuümpompt, solenoïde kleppen en fakuümkegels ensfh. . De lingte fan single vi fleksibele slang kin oanpast wurde neffens de easken fan 'e brûker.
11Vearen ferbiningsoarten: Vacuum Bayonet-ferbining (VBC) Type en weldde ferbining kinne wurde selektearre. It VBC-type hoecht gjin isoleare behanneling op 'e side.
