De koelsystemen mei floeibere stikstof wurde in soad brûkt yn 'e healgeleider- en chipyndustry, ynklusyf it proses fan,
- De technology fan Molekulêre Beam Epitaksy (MBE)
- De chip syn test nei COB-pakket
Relatearre produkten
Vacuüm isolearre piipserie
Vacuüm isolearre fleksibele slangserie
Dynamysk fakuümpompsysteem
Fakuüm isolearre fazeskieder searje
Fakuüm isolearre fentylsearje
Stipe-apparatuer foar piipsystemen
Molekulêre striel epitaksy
De technology fan Molecular Beam Epitaxy (MBE) waard ûntwikkele yn 'e jierren 1950 om tinne-filmmaterialen fan healgeleiders te meitsjen mei fakuümferdampingstechnology. Mei de ûntwikkeling fan ultra-hege fakuümtechnology is de tapassing fan 'e technology útwreide nei it mêd fan healgeleiderwittenskip.
HL hat de fraach nei it MBE-koelsysteem foar floeibere stikstof opmurken, in technyske rêchbonke organisearre om mei súkses in spesjaal MBE-koelsysteem foar floeibere stikstof te ûntwikkeljen foar MBE-technology en in folsleine set fakuüm-isolearre piipsystemen, dy't brûkt binne yn in protte bedriuwen, universiteiten en ûndersyksynstituten.
De mienskiplike problemen fan 'e semiconductor- en chipindustry omfetsje,
- De druk fan floeibere stikstof yn terminalapparatuer (MBE). Foarkom dat drukoerlêst terminalapparatuer (MBE) beskeadiget.
- Meardere kontrôles foar yn- en útfier fan kryogene floeistoffen
- De temperatuer fan floeibere stikstof yn terminalapparatuer
- In ridlike hoemannichte kryogene gasútstjit
- (Automatysk) Skeakeljen fan haad- en tûkelinen
- Drukoanpassing (fermindering) en stabiliteit fan VIP
- It fuortheljen fan mooglike ûnreinheden en iisresten út 'e tank
- Foltiid fan 'e terminale floeibere apparatuer
- Foarkoeling fan 'e piiplieding
- Floeistofresistinsje yn VIP-systeem
- Kontrôleferlies fan floeibere stikstof tidens ûnderbrutsen tsjinst fan it systeem
De fakuüm-isolearre piip (VIP) fan HL is boud neffens de ASME B31.3-drukliedingkoade as standert. Technyske ûnderfining en kwaliteitskontrôlefermogen om de effisjinsje en kosten-effektiviteit fan 'e plant fan' e klant te garandearjen.
OPLOSSINGEN
HL Cryogenic Equipment leveret klanten it fakuüm-isolearre piipsysteem om te foldwaan oan 'e easken en betingsten fan' e healgeleider- en chipindustry:
1. Kwaliteitsbehearsysteem: ASME B31.3 Drukliedingkoade.
2. In spesjale fazeskieder mei meardere kryogene floeistofynlaat en -útlaat mei automatyske kontrôlefunksje foldocht oan 'e eask fan gasútstjit, recycled floeibere stikstof en temperatuer fan floeibere stikstof.
3. In foldwaande en tydlik ûntwerp fan 'e útlaat soarget derfoar dat terminalapparatuer altyd wurket binnen de ûntworpen drukwearde.
4. De gas-floeistofbarriêre wurdt pleatst yn 'e fertikale VI-piip oan 'e ein fan 'e VI-piiplieding. De gas-floeistofbarriêre brûkt it prinsipe fan gasôfsluting om de waarmte fan 'e ein fan 'e VI-piiplieding yn 'e VI-pipen te blokkearjen, en effektyf it ferlies fan floeibere stikstof te ferminderjen tidens ûnderbrutsen en yntermitterend gebrûk fan it systeem.
5.VI Piping bestjoerd troch de fakuüm-isolearre fentyl (VIV) searje: Ynklusyf fakuüm-isolearre (pneumatyske) ôfslútklep, fakuüm-isolearre kontrôleklep, fakuüm-isolearre regelklep ensfh. Ferskate soarten VIV kinne modulêr kombineare wurde om de VIP te kontrolearjen as nedich. VIV is yntegrearre mei VIP-prefabryk yn 'e fabrikant, sûnder isolearre behanneling op lokaasje. De sealing-ienheid fan VIV kin maklik ferfongen wurde. (HL akseptearret it kryogene fentylmerk dat troch klanten oanjûn is, en makket dan fakuüm-isolearre fentilen troch HL. Guon merken en modellen fan fentilen kinne miskien net makke wurde ta fakuüm-isolearre fentilen.)
6. Skjinens, as der ekstra easken binne foar de skjinens fan it oerflak fan 'e binnenbuis. It wurdt oanrikkemandearre dat klanten BA- of EP-rostfrij stielen pipen kieze as VIP-binnenpipen om morsen fan roestfrij stiel fierder te ferminderjen.
7. Vacuüm isolearre filter: Meitsje de mooglike ûnreinheden en iisresten fan 'e tank skjin.
8. Nei in pear dagen of langer stillizzen of ûnderhâld is it tige needsaaklik om de VI-pipen en terminalapparatuer foarôf te koelen foardat kryogene floeistof deryn komt, om iisslak te foarkommen neidat kryogene floeistof direkt yn 'e VI-pipen en terminalapparatuer komt. De foarkoelfunksje moat yn it ûntwerp wurde beskôge. It biedt bettere beskerming foar terminalapparatuer en VI-pipen-stipeapparatuer lykas kleppen.
9.Suit foar sawol dynamysk as statysk fakuüm-isolearre (fleksibel) piipsysteem.
10. Dynamysk fakuüm-isolearre (fleksibel) piipsysteem: Bestiet út VI fleksibele slangen en/of VI-pipen, jumperslangen, fakuüm-isolearre fentylsysteem, fazeskieders en in dynamysk fakuümpompsysteem (ynklusyf de fakuümpompen, magneetkleppen en fakuümmeters ensfh.). De lingte fan in inkele VI fleksibele slang kin oanpast wurde neffens de easken fan 'e brûker.
11. Ferskate ferbiningstypen: Fakuümbajonetferbining (VBC) type en laske ferbining kinne selektearre wurde. It VBC-type hat gjin isolaasjebehanneling op lokaasje nedich.
