De koelsystemen foar floeibere stikstof wurde in protte brûkt yn 'e semiconductor- en chip-yndustry, ynklusyf it proses fan,
- De technology fan Molecular Beam Epitaxy (MBE)
- De chip syn test nei COB pakket
relatearre produkten
Vacuum isolearre Pipe Series
Vacuum isolearre fleksibele Hose Series
Dynamic Vacuum Pump System
Vacuum isolearre Phase Separator Series
Vacuum isolearre Valve Series
Piping System Support Equipment
MOLEKULÊRE BEAM EPITAXY
De technology fan Molecular Beam Epitaxy (MBE) waard ûntwikkele yn 'e 1950's om semiconductor tinne filmmaterialen te meitsjen mei fakuümferdampingstechnology.Mei de ûntwikkeling fan ultra-hege fakuümtechnology is de tapassing fan technology útwreide nei it mêd fan semiconductorwittenskip.
HL hat opmurken de fraach fan MBE floeibere stikstof cooling systeem, organisearre technyske rêchbonke om mei súkses ûntwikkeljen fan in spesjale MBE floeibere stikstof cooing systeem foar MBE technology en in folsleine set fan fakuüm isolearre piping systeem, dat is brûkt yn in protte bedriuwen, universiteiten en ûndersyk ynstituten .
De mienskiplike problemen fan 'e semiconductor & chip yndustry omfetsje,
- De druk fan floeibere stikstof yn terminal (MBE) apparatuer.Prevent Pressure Overload út Damaging Terminal (MBE) Equipment.
- Meardere Cryogenic Liquid Inlet en Outlet kontrôles
- De temperatuer fan floeibere stikstof yn terminalapparatuer
- In ridlike hoemannichte Cryogenic Gas Emissions
- (Automatysk) Switching fan Main en Branch Lines
- Druk Adjustment (Reducing) en Stabiliteit fan VIP
- It skjinmeitsjen fan de mooglike ûnreinheden en iisresten út tank
- Folje tiid fan de terminal floeibere apparatuer
- Pipeline Precooling
- Liquid Resistance yn VIP System
- Kontrolearje ferlies fan floeibere stikstof tidens diskontinue tsjinst fan it systeem
HL's Vacuum Insulated Pipe (VIP) is boud nei ASME B31.3 Pressure Piping-koade as standert.Engineering ûnderfining en kwaliteit kontrôle fermogen om te garandearjen de effisjinsje en kosten-effektiviteit fan de klant syn plant.
SOLUTIONS
HL Cryogenic Equipment biedt klanten it Vacuum Insulated Piping System om te foldwaan oan de easken en betingsten fan 'e semiconductor & chip yndustry:
1.Quality Management System: ASME B31.3 Pressure Piping Code.
2.A Special Phase Separator mei Multiple Cryogenic Liquid Inlet en Outlet mei automatyske kontrôlefunksje foldocht oan de eask fan gasemisje, recycled floeibere stikstof en temperatuer fan floeibere stikstof.
3.Adequate en tydlike ôffalûntwerp soarget derfoar dat terminalapparatuer altyd wurket binnen de ûntwurpen drukwearde.
4.De Gas-liquid Barrier wurdt pleatst yn 'e fertikale VI piip oan' e ein fan VI pipeline.Gas-liquid Barrier brûkt it gassealprinsipe om de waarmte fan 'e ein fan' e VI-pipeline yn 'e VI Piping te blokkearjen, en effektyf it ferlies fan floeibere stikstof te ferminderjen tidens diskontinue en intermitterende tsjinst fan it systeem.
5.VI Piping Controlled by The Vacuum Insulated Valve (VIV) Series: Ynklusyf Vacuum Insulated (Pneumatyske) Shut-off Valve, Vacuum Insulated Check Valve, Vacuum Insulated Regulating Valve ensfh. fereaske.VIV wurdt yntegrearre mei VIP prefabrication yn fabrikant, sûnder on-site Insulated behanneling.De seal-ienheid fan VIV kin maklik wurde ferfongen.(HL akseptearret it kryogene kleppenmerk oanwiisd troch klanten, en makket dan fakuümisoleare kleppen troch HL. Guon merken en modellen fan kleppen kinne miskien net makke wurde yn fakuümisolearre kleppen.)
6.Cleanliness, as der oanfoljende easken binne foar ynderlike buis oerflak skjinens.It wurdt suggerearre dat klanten kieze BA of EP roestvrij stiel pipen as VIP ynderlike pipen foar in fierder ferminderjen RVS spillage.
7.Vacuum isolearre filter: Skjinje de mooglike ûnreinheden en iisresten fan tank fuort.
8.Nei in pear dagen of langer ôfsluting of ûnderhâld is it tige nedich om de VI Piping- en terminalapparatuer te precooljen foardat kryogenyske flüssigens ynfierd wurdt, om iisslag te foarkommen nei't kryogene flüssigens direkt yn 'e VI Piping en terminalapparatuer komt.Precooling funksje moat wurde beskôge yn design.It soarget foar bettere beskerming foar terminal apparatuer en VI Piping stipe apparatuer lykas kleppen.
9.Suit foar sawol dynamysk as statysk vacuum isolearre (fleksibel) pipingsysteem.
10.Dynamysk Vacuum Insulated (Fleksibel) Piping System: bestean út VI Flexible Hoses en / of VI Pipe, Jumper Hoses, Vacuum Insulated Valve System, Phase Separators en Dynamic Vacuum Pump System (ynklusyf de fakuüm pompen, solenoid kleppen en fakuüm gauges etc. ).De lingte fan single VI Flexible Hose kin oanpast wurde neffens brûker syn easken.
11. Ferskate ferbiningstypen: Vacuum Bayonet Connection (VBC) Type en laske ferbining kinne wurde selektearre.It VBC-type hat gjin isolearre behanneling op it plak nedich.