Molekulêre strielingsepitaksy en floeibere stikstofsirkulaasjesysteem yn 'e healgeleider- en chipyndustry

Koarte beskriuwing fan molekulêre beam-epitaksy (MBE)

De technology fan Molecular Beam Epitaxy (MBE) waard ûntwikkele yn 'e jierren 1950 om tinne-filmmaterialen fan healgeleiders te meitsjen mei fakuümferdampingstechnology. Mei de ûntwikkeling fan ultra-hege fakuümtechnology is de tapassing fan 'e technology útwreide nei it mêd fan healgeleiderwittenskip.

De motivaasje fan ûndersyk nei healgeleidermaterialen is de fraach nei nije apparaten, dy't de prestaasjes fan it systeem kinne ferbetterje. Op syn beurt kin nije materiaaltechnology nije apparatuer en nije technology produsearje. Molekulêre strielepitaksy (MBE) is in hege fakuümtechnology foar de groei fan epitaksiale lagen (meastal healgeleiders). It brûkt de waarmtestriel fan boarneatomen of molekulen dy't ynfloed hawwe op in ienkristalsubstraat. De ultrahege fakuümkarakteristiken fan it proses meitsje in-situ metallisaasje en groei fan isolearjende materialen op nij groeide healgeleideroerflakken mooglik, wat resulteart yn fersmoargingsfrije ynterfaces.

nijs bg (4)
nijs bg (3)

MBE Technology

De molekulêre beam-epitaxy waard útfierd yn in heech fakuüm of ultraheech fakuüm (1 x 10-8Pa) omjouwing. It wichtichste aspekt fan molekulêre strielepitaksy is de lege ôfsettingssnelheid, wêrtroch't de film meastentiids epitaksiaal groeit mei in snelheid fan minder as 3000 nm per oere. Sa'n lege ôfsettingssnelheid fereasket in heech genôch fakuüm om itselde nivo fan skjinens te berikken as oare ôfsettingsmetoaden.

Om oan it hjirboppe beskreaune ultrahege fakuüm te foldwaan, hat it MBE-apparaat (Knudsen-sel) in koellaach, en moat de ultrahege fakuümomjouwing fan 'e groeikeamer ûnderhâlden wurde mei in sirkulaasjesysteem mei floeibere stikstof. Floeibere stikstof koelt de ynterne temperatuer fan it apparaat nei 77 Kelvin (−196 °C). De lege temperatueromjouwing kin de ynhâld fan ûnreinheden yn it fakuüm fierder ferminderje en bettere omstannichheden biede foar it ôfsetten fan tinne films. Dêrom is in spesjaal sirkulaasjesysteem mei koeling mei floeibere stikstof nedich foar de MBE-apparatuer om in trochgeande en stabile oanfier fan -196 °C floeibere stikstof te leverjen.

Sirkulaasjesysteem foar koeling fan floeibere stikstof

Vacuüm floeibere stikstof koelsysteem omfettet benammen,

● kryogene tank

● haad- en tûke fakuümmantelpiip / fakuümmantelslang

● MBE spesjale fazeskieder en fakuümmantelde útlaatpipe

● ferskate fakuümmantelkleppen

● gas-floeistofbarriêre

● filter mei fakuümmantel

● dynamysk fakuümpompsysteem

● Foarkoeling- en suveringsysteem foar it opnij ferwaarmjen

HL Cryogenic Equipment Company hat de fraach nei in MBE-koelsysteem mei floeibere stikstof opmurken, in technyske rêchbonke organisearre om mei súkses in spesjaal MBE-koelsysteem mei floeibere stikstof te ûntwikkeljen foar MBE-technology en in folsleine set fakuümisolaasje.edpiipsysteem, dat brûkt wurdt yn in protte bedriuwen, universiteiten en ûndersyksynstituten.

nijs bg (1)
nijs bg (2)

HL Kryogene Apparatuer

HL Cryogenic Equipment, oprjochte yn 1992, is in merk dat ferbûn is mei Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company yn Sina. HL Cryogenic Equipment set him yn foar it ûntwerp en de produksje fan heechfakuüm isolearre kryogene piipsystemen en relatearre stipeapparatuer.

Foar mear ynformaasje, besykje de offisjele websidewww.hlcryo.com, of e-post neiinfo@cdholy.com.


Pleatsingstiid: 6 maaie 2021

Lit jo berjocht achter