Molekulêre beam Epitaxy en floeibere stikstof sirkulaasjestelsel yn semakeluksje en chipyndustry

KORTE FAN MOLECULARE BEAM EPITAXY (MBE)

De technology fan Molekulêre BEAM EPITAXY (MBE) waard yn 'e fyftiger jierren ûntwikkele om semiconductor tinne filmmateriaal te tarieden mei fakuümwapingtechnology. Mei de ûntwikkeling fan ultra-hege fakuümtechnology is de tapassing fan technology útwreide nei it fjild fan semysjûnwittenskip.

De motivaasje fan Semiconductor Materials-ûndersyk is de fraach nei nije apparaten, dy't de prestaasjes fan it systeem kin ferbetterje. Op beurt kin nije materiële technology nije apparatuer en nije technology produsearje. Molekulêre beam Epitaxy (MBE) is in hege fakuümtechnology foar epitaxiale laach (meastentiids semiconductor) groei. It brûkt de waarmtebal fan boarne-atomen as molekulen dy't single kristal substraat ynfloed hat. De ultra-hege fakuümferfarskeristiken fan it proses tastean yn-situ metallisaasje en groei fan isolearjende materialen op nij groeide semyons-oerflakken, wat resulteart yn fersmoarging fan befettet.

Nijs BG (4)
Nijs BG (3)

MBE TECHNOLOGY

De molekulêre beampitaxy waard útfierd yn in hege fakuüm as ultra-hege fakuüm (1 x 10-8PA) Miljeu. It wichtichste aspekt fan molekulêre beamrepitaxy is har lege ôfsetnivo, dy't normaal de film tastean dat de film nei epitaxial groeit op in taryf fan minder dan 3000 NM per oere. Sa'n in taryf fan in lege ôfset hat in hege genôch fakuüm nedich om itselde nivo fan skjinens te berikken as oare ôfsetmetoaden.

Om te foldwaan oan 'e ultra-fakuüm fan' e ulthe-hege fakuüm, it MBE-apparaat (knudende-apparaat) hat in koelder, en de ultra-hege fakuüm omjouwing fan 'e groei-keamer moat wurde behâlden mei in floeibere stikroegen-sirkulaasjysteem. Liquid-stikstof koelt de ynterne temperatuer fan it apparatuer fan it apparatuer nei 77 Kelvin (-196 ° C). De omjouwing fan 'e lege temperatuer kin fierder de ynhâld fan ûnreinheden ferminderje yn fakuüm en leverje bettere omstannichheden foar de ôfset fan tinne films. Dêrom is in tawijd floeibere stikstof koelbedriuwen ferplicht foar de MBE-apparatuer om in trochgeande en konstante oanbod fan -196 ° C liquid stikstof te leverjen.

Floeibere stikstof koel sirkulaasjysteem

Vacuüm vloeibaar nitrogen cooling circulationsysteem omfettet foaral,

● Cryogenic Tank

● Main and Tak-vacuum-jubile Piip / fakuümjacked slang

● MBE SPESIALE FASSE SECEPATER EN FACUUM-jaske útlaatpipe

● Ferskate fakuümjacket-kleppen

● gas-floeibere barriêre

● Vacuimjacke filter

● Dynamysk fakuümpompesysteem

● RECOOLING EN PURGE ARHEATING SYSTEM

HL Cryogenic Equipment bedriuw hat de fraach fan MBE-floeibere stikstof koeling opmurken, organisearre technyske rêchsens om in spesjale MBE-floeibere stikjes te ûntwikkeljen foar MBE-technology en in folsleine set fakuümsulatedPiping systeem, dat is brûkt yn in protte bedriuwen, universiteiten en ûndersyksynstituten.

Nijs BG (1)
Nijs BG (2)

HL Cryogenic Equipment

HL Cryogenic Equipment dy't waard oprjochte yn 1992 is in merk oansletten by Chengdu Holy Cryogenic Autoatement YNT SJOCHT. HL Cryogenic-apparatuer is ynsette foar it ûntwerp en fabrikaazje fan it hege fakuüm isolearre kryogenyske pipingsysteem en besibbe stipeapparatuer.

Besykje asjebleaft de offisjele webside foar mear ynformaasjewww.delstrip.com, as e-post neiinfo@cdholy.com.


Posttiid: MEI-06-2021

Lit jo berjocht ferlitte