Molekulêre beam-epitaxy en vloeibaar stikstofsirkulaasjesysteem yn semiconductor- en chip-yndustry

Brief of Molecular Beam Epitaxy (MBE)

De technology fan Molecular Beam Epitaxy (MBE) waard ûntwikkele yn 'e 1950's om semiconductor tinne filmmaterialen te meitsjen mei fakuümferdampingstechnology.Mei de ûntwikkeling fan ultra-hege fakuümtechnology is de tapassing fan technology útwreide nei it mêd fan semiconductorwittenskip.

De motivaasje fan ûndersyk nei semiconductormaterialen is de fraach nei nije apparaten, dy't de prestaasjes fan it systeem kinne ferbetterje.Op syn beurt kin nije materiaaltechnology nije apparatuer en nije technology produsearje.Molecular beam epitaxy (MBE) is in hege fakuüm technology foar epitaxial laach (meastentiids semiconductor) groei.It brûkt de waarmte beam fan boarne atomen of molekulen beynfloedzje ien crystal substraat.De ultra-hege fakuüm skaaimerken fan it proses tastean in-situ metallisaasje en groei fan isolearjende materialen op nij groeid semiconductor oerflak, resultearret yn fersmoarging-frije ynterfaces.

nijs bg (4)
nijs bg (3)

MBE Technology

De molekulêre beam epitaksy waard útfierd yn in heech fakuüm of ultra-heech fakuüm (1 x 10)-8Pa) miljeu.It wichtichste aspekt fan molekulêre beam epitaksy is syn lege deposition rate, dy't meastal lit de film te epitaxial groeie mei in snelheid fan minder as 3000 nm per oere.Sa'n lege ôfsettingsrate fereasket in heech genôch fakuüm om itselde nivo fan skjinens te berikken as oare ôfsettingsmetoaden.

Om te foldwaan oan de hjirboppe beskreaune ultra-hege fakuüm, hat it MBE-apparaat (Knudsen-sel) in koellaach, en it ultra-hege fakuüm-omjouwing fan 'e groeikeamer moat wurde ûnderhâlden mei in floeibere stikstofsirkulaasjesysteem.Flüssige stikstof koelt de ynterne temperatuer fan it apparaat nei 77 Kelvin (-196 °C).De lege temperatuer omjouwing kin fierder ferminderjen de ynhâld fan ûnreinheden yn fakuüm en soargje foar bettere betingsten foar de ôfsetting fan tinne films.Dêrom is in tawijd sirkulaasjesysteem foar floeibere stikstofkoeling nedich foar de MBE-apparatuer om in trochgeande en fêste oanbod fan -196 °C floeibere stikstof te leverjen.

Liquid Nitrogen Cooling Circulation System

Vacuum floeibere stikstof koelsirkulaasjesysteem omfettet benammen,

● kryogenyske tank

● wichtichste en tûke vacuum jacketed piip / vacuum jacketed slang

● MBE spesjale faze separator en fakuüm jacketed exhaust piip

● ferskate fakuüm jacketed kleppen

● gas-floeistof barriêre

● vacuum jacketed filter

● dynamysk fakuüm pomp systeem

● Precooling en purge reheating systeem

HL Cryogenic Equipment Company hat opmurken de fraach fan MBE floeibere stikstof koeling systeem, organisearre technyske rêchbonke om mei súkses ûntwikkeljen fan in spesjale MBE floeibere stikstof cooing systeem foar MBE technology en in folsleine set fan fakuüm isolaasjeedpipingsysteem, dat is brûkt yn in protte bedriuwen, universiteiten en ûndersyksynstituten.

nijs bg (1)
nijs bg (2)

HL Cryogenic Equipment

HL Cryogenic Equipment dat waard oprjochte yn 1992 is in merk ferbûn oan Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company yn Sina.HL Cryogenic Equipment set him yn foar it ûntwerp en fabrikaazje fan it Heech Vacuum Insulated Cryogenic Piping System en relatearre Support Equipment.

Foar mear ynformaasje kinne jo besykje de offisjele websidewww.hlcryo.com, of e-post neiinfo@cdholy.com.


Post tiid: mei-06-2021